테마
반도체“당사는 반도체, 디스플레이 공정의 핵심 공정에 필요한 환경제어 시스템을 개발. 제작하여 납품하고 있으며, 주요 제품으로 초정밀 온습도 제어장비(THC), 팬 필터 유닛(FFU), 초정밀 항온기(TCU) 등이 있습니다.”DART 원문 · 2026.03.18
HBM“당사의 제품 중 가장 많은 매출 비중을 차지하고 있는 THC(초정밀 온습도 제어장비)는 반도체 전공정인 Photo공정과 후공정인 HBM반도체 공정 중 웨이퍼 표면에 PR 용액을 도포하고 건조하는 트랙(Track) 장비에 장착되어 PR(Photo Resist) 코팅이 이뤄지는 코팅(Coating)공정과 노광 공정을 마치고 나온 웨이퍼를 현상(Developing)하는 공정의 각 챔버에 파티클, 초정밀 온습도(온도 ±0.05℃, 습도 ± 0.5%), 미량가스(NH3, ACID 등)가 제어된 공기를 공급하고 있습니다.”DART 원문 · 2026.03.18
반도체 소재“당사의 제품 중 가장 많은 매출 비중을 차지하고 있는 THC(초정밀 온습도 제어장비)는 반도체 전공정인 Photo공정과 후공정인 HBM반도체 공정 중 웨이퍼 표면에 PR 용액을 도포하고 건조하는 트랙(Track) 장비에 장착되어 PR(Photo Resist) 코팅이 이뤄지는 코팅(Coating)공정과 노광 공정을 마치고 나온 웨이퍼를 현상(Developing)하는 공정의 각 챔버에 파티클, 초정밀 온습도(온도 ±0.05℃, 습도 ± 0.5%), 미량가스(NH3, ACID 등)가 제어된 공기를 공급하고 있습니다.”DART 원문 · 2026.03.18
반도체 후공정“당사의 제품 중 가장 많은 매출 비중을 차지하고 있는 THC(초정밀 온습도 제어장비)는 반도체 전공정인 Photo공정과 후공정인 HBM반도체 공정 중 웨이퍼 표면에 PR 용액을 도포하고 건조하는 트랙(Track) 장비에 장착되어 PR(Photo Resist) 코팅이 이뤄지는 코팅(Coating)공정과 노광 공정을 마치고 나온 웨이퍼를 현상(Developing)하는 공정의 각 챔버에 파티클, 초정밀 온습도(온도 ±0.05℃, 습도 ± 0.5%), 미량가스(NH3, ACID 등)가 제어된 공기를 공급하고 있습니다.”DART 원문 · 2026.03.18
디스플레이“당사는 반도체, 디스플레이 공정의 핵심 공정에 필요한 환경제어 시스템을 개발. 제작하여 납품하고 있으며, 주요 제품으로 초정밀 온습도 제어장비(THC), 팬 필터 유닛(FFU), 초정밀 항온기(TCU) 등이 있습니다.”DART 원문 · 2026.03.18
소프트웨어“당사의 기업부설연구소는 당사의 THC, TCU, FFU, 기타 장비 및 소프트웨어 개발과설계 연구를 수행하고 있습니다.”DART 원문 · 2026.03.18